基板表面に周囲とは化学的性質の異なる領域を化学的標識として設け、その化学的標識に沿ってミクロドメインを自己組織化するケミカルレジストレーション法を用いた、良好なパターン制御とパターン欠陥の低減を実現する為の基板表面の化学的修飾技術および、EB法の加工限界以下の微細パターンを実現するための高倍率パターン補間技術について講演を行う。