MEMS (マイクロマシン)は 慣性・化学センサ等各種センサ、アクチュエータ、光部品、マイクロバッテリーならびバイオチップと幅広い製品において研究が進められています。MEMSは長年培われた半導体技術と機械加工技術ならびMEMS特有技術を用いた加工技術を駆使して製品開発が進められています。製品開発を進める上で加工技術と共に基盤技術として重要な位置付けにあるのが材料であります。更に、本年度からは近年盛んに使われ始めた「ナノバイオテクノロジー」と言うキーワードを調査対象に加え、ナノテクノロジーやバイオテクノロジーとMEMSが融合することで初めて可能となる出口イメージを模索しながら、従来以上に新規な分野を検討していく予定です。本WG は、平成16年8月に発足し、MEMS業界における新たな化学材料のニーズ探索を中心とした調査を行ってまいりましたが、平成17年度から は 外部から補助金を受けることになり、より活発に活動を行い、各応用分野、異業種会社を含め多角的な面からご講演を頂き、より一層新たな材料 テーマの発掘を目指した調査研究活動を行っております。本年度からより一層広くかつ深く調査を行うために本 WG を運営していくメンバーを募集いたします。本 WG にご興味のある方、是非参画したいとお考えの方 の積極的な参加をお待ちしております。
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