近年、ＭＥＭＳに対応した微細加工技術が進展・普及するにつれて、どう作るかという命題から、何を作るかという命題が重要になりつつある。そのためには様々な分野の研究者との交流、ニーズの探索、技術の融合による協創がポイントとなる。バイオやケミカル分野との接点では、まずは従来の手法や装置では難しかったマイクロスケール領域での操作、例えば微量血液のサンプリングや、微量試薬の反応、細胞一個のハンドリングなどに対する強力な代替ツールとしてＭＥＭＳが利用されつつある。更にマイクロサイズのＭＥＭＳを用いるとナノスケール領域へ様々なアプローチが可能になることから、バイオ・ケミカル分野との融合による新たな応用が拡がる可能性も出てきた。本講演では、医用分析装置やマイクロリアクタなどバイオ・ケミカル分野への応用事例と、その中で見えてきたナノ領域への発展の可能性、さらにこれらの状況を踏まえたＭＥＭＳ、バイオ、半導体との融合に向けた広島大学での取り組みについて紹介する。
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