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ＭＥＭＳデバイスの微細３次元構造を実現するのに結晶異方性エッチングは欠かせない。しかし、ＫＯＨ、ＴＭＡＨなどのエッチング液はそれぞれ異方性が異なるほか、微量の不純物、添加剤で大きく特性が変化する．これらの諸問題を具体的に提起する。