有機・無機ハイブリッド材料は，、有機物，無機物双方の長所を併せ持っており、様々な分野に応用されつつある。我々は無機物質としてシリカゾルを用いて種々の有機・無機ハイブリッド材料の開発を行ってきた。本講演では感光性有機・無機ハイブリッド材料の無機物質に機能性を持たせることによりフォトレジストの改善を図った結果について述べる。また、光ナノインプリントへの応用についても併せて述べる。
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