代表的な集積化ＭＥＭＳデバイスである非冷却赤外線イメージセンサの技術開発の現状について紹介する。非冷却赤外線イメージセンサは熱型赤外線検知器を多数集積した画像デバイスで、ＭＥＭＳ技術を取り入れることで、熱コンダクタンスの大幅な低減が達成でき、性能が飛躍的に向上した。最近では車載用途にまで応用分野が広がりつつある非冷却赤外線イメージセンサについて、最新技術を解説する。
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