シリコンのプレーナー拡散とバルクマイクロマシニングを応用した３軸ピエゾ抵抗型加速度センサやUV-LIGAプロセスを応用したマイクロコネクタを例に、立命館大学で試作したセンサ・デバイスを概説する。講演では、試作段階で遭遇した問題点や課題を可能な限り明らかにする。これらの問題点や課題は、大学の施設に特有の低い生産技術に起因することも否定できないが、聴講者の参考のために述べさせていただく予定である。また、生産技術的な課題克服に向けたMEMSファンダリー等への期待も述べる予定である。
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