環境、安全、快適をキーワードに自動車におけるセンサの重要性は ますます高まってきています。今回弊社で量産中の加速度センサ、 圧力センサなど各種半導体センサとD−RIEを中心に、直接接合 などのMEMS要素技術の紹介、並びに今後の展望をお話します。
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