松下電工では、Deep RIEエッチング、SOIバルクマイクロマシンをコア技術とし、今までに圧力センサ、加速度センサ等を商品化してきた。ファンドリーサービスでは、前述のコア技術とセンサ量産実績をベースに、単一工程から少量プロトタイプ試作、量産受託までの幅いサービスを行なっている。本発表では、これらの事例紹介と最新の技術開発について述べる。
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